綏化機械轉臺定制
發布時間:2022-06-19 01:37:25
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科學意義及應用價值:融合了衍射光學技術和超分辨光瞳濾波技術的各自特性,其與傳統的環形透鏡式共焦測量系統相比,在達到同等橫向分辨力的情況下,由于整形環形光技術的采用使共焦顯微鏡的橫向和軸向強度響應中心峰值的能量損失減小到1/(1-ε2)2倍,同時環形透鏡內環邊緣的衍射對測量系統造成的影響,橫向分辨力優于0.2μm。本技術涉及光學掃描顯微成像及微觀掃描測量技術領域,可用于測量樣品的三維表面形貌、三維微細結構、微臺階、微構槽、集成電路線寬等。

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基本原理:干涉儀對深度非球面元件進行多次局部檢測,兩次測量區域之間有一定的重疊。將每兩次檢測重疊部分的相位值經過擬合統一到一個曲面上,這樣可不斷地將測量范圍擴大,從而獲得整個待測元件表面輪廓。拼接的理論依據是在重疊區域內,兩次測量得到的波前相位值是一致的,即兩次測量相位數據位于同一個曲面上。而在實際測量過程中,則需要傾斜、位移、離焦和振動干擾等誤差影響,并依據一種高精度的多子孔徑干涉拼接測量模型,實現全域凸凹深度非球面形狀的測量與評定。

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李力一行還考察了可調諧(氣體)激光重點實驗室,聽取了實驗室主要研究方向、研究內容介紹。李力肯定了項目進展情況,并鼓勵科研人員努力工作,確保項目順利完成。為做好國家首批國家重大科學儀器開發專項項目驗收工作,6月26日至27日,科技部科研條件與財務司副司長吳學梯、工業和信息化部科技司副司長李力先后來我公司考察,了解我公司的國家重大科學儀器設備開發專項項目。工業和信息化部、省工信委相關領導,我公司董事長等參加現場考察。

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省委常委、副省長郝會龍出席會議并匯報,會議由省委常委、統戰部長趙敏主持。萬鋼對黑龍江省省委、省政府為裝備制造業技術創新和結構調整給與的高度重視和有力支持,以及黑龍江省在裝備制造業發展中取得的成績給與充分肯定。他說,為推動經濟社會穩步發展,每年各民主黨派中央都要開展年度重點調研。今年,致公黨中央圍繞全面深化改革,將“創新驅動促進裝備制造業結構調整”作為年度重點調研課題,原因在于裝備制造業是實現經濟增長方式轉變和推進傳統產業改造升級的根本手段,也是科技成果轉化為生產力的橋梁和通道。