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大連超精密氣浮轉臺定制

發布時間:2022-06-29 01:37:18
大連超精密氣浮轉臺定制

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大深徑比測量與高精度的統一突破了微深孔徑測量技術,無論對單- -微結構還是宏觀器件的微結構,均可實現超精密級的測量。自動測量與數據分析軟件為客戶量身定制的專業測量軟件,可以實現工件的自動測量與數據分析,大幅提升測量效率。本土化產品快速供應相比國外同類產品具有更優異的性能,核心部件全部國產化,60-80個工作日即可供貨,在最短的供貨時間內,提供最優質的服務。專家級成套解決方案超精密級測量儀器的測量精度常被工作環境、對象等吞沒。依托本公司超精密儀器與裝備工程專家團隊,可提供超精密測量成套解決方案。

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科學意義及應用價值:融合了衍射光學技術和超分辨光瞳濾波技術的各自特性,其與傳統的環形透鏡式共焦測量系統相比,在達到同等橫向分辨力的情況下,由于整形環形光技術的采用使共焦顯微鏡的橫向和軸向強度響應中心峰值的能量損失減小到1/(1-ε2)2倍,同時環形透鏡內環邊緣的衍射對測量系統造成的影響,橫向分辨力優于0.2μm。本技術涉及光學掃描顯微成像及微觀掃描測量技術領域,可用于測量樣品的三維表面形貌、三維微細結構、微臺階、微構槽、集成電路線寬等。

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基本原理:在傳統牛頓流體的雷諾方程基礎上,將惠普爾理論與壓力對數分布假設相結合,對傳統氣體潤滑理論進行修正和完善。建立基于動靜壓復合的超精密氣浮回轉基準(CTGB)的歸一化解析模型,在以剛度為目標函數的前提下,對結構參數進行全局優化,從而得到基于動靜壓復合的超精密氣浮回轉基準的結構參數。科學意義及應用價值:對超精密氣浮回轉基準中動靜壓之間的耦合規律進行建模。解析表述了動靜壓之間的壓力耦合、結構耦合以及壓力與結構之間的交叉耦合。該技術大幅度提高了氣浮回轉基準的剛度、承載能力和抗擾動能力,提高了氣浮回轉基準的綜合性能。實驗表明:與傳統氣浮回轉基準(STGB)相比,承載能力提高4倍以上,剛度提高6倍以上,流量略有增大,性能曲線對比見Fig.1-3。

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即向上下游產業延伸、產品要向研發設計的高端和用戶服務延伸;要著力發展高新技術產業集群,重點支持創新成果的產業化和商品化;要促進生產型、科技型服務業發展,特別要加強在研發資源共享、技術交易、孵化器等方面的工作力度;創新創業的根本是人才,要想盡辦法留住工程技術、管理、技術工人等各類人才。座談會上,郝會龍向調研組匯報了我省裝備制造業的基本情況、發展特點、主要工作和成果以及面臨的主要問題。建議國家進一步統籌裝備制造業發展布局;支持黑龍江省發展股份合作農業和農業產業化經營;

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