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湖南超精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)公司

發(fā)布時(shí)間:2022-07-28 01:37:11
湖南超精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)公司

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科學(xué)意義及應(yīng)用價(jià)值:融合了衍射光學(xué)技術(shù)和超分辨光瞳濾波技術(shù)的各自特性,其與傳統(tǒng)的環(huán)形透鏡式共焦測(cè)量系統(tǒng)相比,在達(dá)到同等橫向分辨力的情況下,由于整形環(huán)形光技術(shù)的采用使共焦顯微鏡的橫向和軸向強(qiáng)度響應(yīng)中心峰值的能量損失減小到1/(1-ε2)2倍,同時(shí)環(huán)形透鏡內(nèi)環(huán)邊緣的衍射對(duì)測(cè)量系統(tǒng)造成的影響,橫向分辨力優(yōu)于0.2μm。本技術(shù)涉及光學(xué)掃描顯微成像及微觀掃描測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域,可用于測(cè)量樣品的三維表面形貌、三維微細(xì)結(jié)構(gòu)、微臺(tái)階、微構(gòu)槽、集成電路線寬等。

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科學(xué)意義及應(yīng)用價(jià)值:建立起一種反映傾斜、位移、離焦和振動(dòng)干擾等影響因素和作用規(guī)律的子孔徑干涉拼接測(cè)量模型,依據(jù)該測(cè)量模型,可建立起一種對(duì)上述影響因素有較強(qiáng)抑制能力的測(cè)量?jī)x器,進(jìn)而解決凸凹深度非球面測(cè)量問題。研究目的:研究一種超精密、超高速、大載荷、高剛度的氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn),解決傳統(tǒng)氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)承載能力小、剛度低、抗擾動(dòng)能力差等問題,以期進(jìn)一步提高氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)的回轉(zhuǎn)精度,提高抗擾動(dòng)能力。

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研究目的:研究一種多點(diǎn)并行曝光、且曝光面上各曝光點(diǎn)曝光可控及曝光強(qiáng)度宏微雙重可調(diào)的高分辨力的激光直接寫入新技術(shù),以解決傳統(tǒng)激光直寫單點(diǎn)曝光制作效率低的問題,提高微陣列和微結(jié)構(gòu)光學(xué)器件的制作效率。基本原理:多光斑可控并行激光直寫的基本思想是以微光學(xué)鏡陣列作為直寫物鏡,將寫入激光分別聚焦為多個(gè)高分辨力寫入光斑,以分散直寫任務(wù);利用數(shù)字微鏡DMD控制各子光斑是否曝光,并采用聲光調(diào)制器進(jìn)行宏微雙重調(diào)制寫入光強(qiáng)。

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HUE-T231大型高速回轉(zhuǎn)裝備超精密裝配測(cè)量?jī)x(單立柱雙通道)由哈爾濱工業(yè)大學(xué)、哈爾濱超精密裝備工程技術(shù)中心有限公司聯(lián)合開發(fā)。主要用于航空發(fā)動(dòng)機(jī)、艦船發(fā)動(dòng)機(jī)和電站燃機(jī)機(jī)匣、轉(zhuǎn)子、葉盤組件,盤、軸類零件和回轉(zhuǎn)體零部件的跳動(dòng)、極值位置、同心度、圓度、平面度、垂直度和同軸度的檢測(cè),并對(duì)檢測(cè)數(shù)據(jù)進(jìn)行記錄、存儲(chǔ)、并建立數(shù)據(jù)庫,通過計(jì)算機(jī)對(duì)誤差數(shù)據(jù)進(jìn)行評(píng)價(jià)和分析,***終得出正確的測(cè)量結(jié)果并出具測(cè)試報(bào)告。

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調(diào)研組將通過調(diào)研,為國家制定支持裝備制造業(yè)振興的政策措施建言獻(xiàn)策,幫助解決發(fā)展中面臨的矛盾和問題。萬鋼指出,創(chuàng)新要有信心和決心,裝備制造業(yè)是黑龍江省的傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)和支柱產(chǎn)業(yè),具有濃厚的產(chǎn)業(yè)文化、深厚的產(chǎn)業(yè)傳統(tǒng)、完善的產(chǎn)業(yè)隊(duì)伍和一個(gè)有利于產(chǎn)業(yè)發(fā)展的環(huán)境,進(jìn)而形成了綜合優(yōu)勢(shì),再借助豐富的資源,就可以形成具有龍江特色的產(chǎn)業(yè)集群。他強(qiáng)調(diào),要推動(dòng)產(chǎn)業(yè)走向高端,支持龍頭骨干企業(yè),依托重大工程,著力提升自主創(chuàng)新、開拓市場(chǎng)能力;支持新興產(chǎn)業(yè)搶占高峰,著力加強(qiáng)創(chuàng)新能力的建設(shè);要拉動(dòng)產(chǎn)業(yè)向“兩頭”延伸

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