廈門超精密氣浮轉臺定制
發布時間：2022-08-21 01:36:43
廈門超精密氣浮轉臺定制
超精密氣浮直線基準圓柱度和直線度的測量，不僅要求儀器主軸的回轉基準精度高，直線運動基準的精度要求也非常高。經過優化設計的圓柱度儀導軌結構，提供了極高的直線運動精度(0.05~0.1μm/100mm)，在整體結構上進行了精心設計，保障了儀器整體具有非常高的結構穩定性。穩定的花崗巖基座圓柱度儀的基座采用天然花崗巖材質，經過億萬年老化沉積，花崗巖材質質地均勻，強度高，應力變形小，對溫度敏感性小。經過精加工保證各零、部件的機械位置，基座具有優良的穩定性和剛度。
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HUE--E1231是哈爾濱工業大學、哈爾濱超精密裝備工程技術中心有限公司聯合開發的新一代高精度二維轉臺。10項中國發明專利技術授權國家科技重大專項推介產品在北京空間機電研究所(508所)、沈陽航空發動機研究所等單位應用HUE--E1231型高精度二維轉臺核心技術指標均通過中國國家量儀產品質量監督檢驗中心檢測。兩軸空間垂直度優于5秒;角回轉誤差優于1秒;角定位誤差優于1秒;HUE--E1231特征與優勢高精度和大承載 采用靜壓氣浮支撐技術作為回轉軸系，轉臺軸系回轉誤差小，承載可高達數十噸。
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先進控制策略 高精度二維轉臺采用無刷直流電機驅動;結合高精度碼盤構成位置閉環伺服系統，角位置定位精度可優于1角秒;并配有高穩定性數顯系統本土化產品快速供應!產品核心技術和部件均來自國內，3~4個月施工完成并調試結束，無需歷經嚴苛復雜的進出口安全與商務審批過程!專家級成套解決方案!依托本公司超精密儀器與裝備工程專家團隊，可提供超精密轉臺定制解決方案!
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基本原理：在傳統牛頓流體的雷諾方程基礎上，將惠普爾理論與壓力對數分布假設相結合，對傳統氣體潤滑理論進行修正和完善。建立基于動靜壓復合的超精密氣浮回轉基準(CTGB)的歸一化解析模型，在以剛度為目標函數的前提下，對結構參數進行全局優化，從而得到基于動靜壓復合的超精密氣浮回轉基準的結構參數。科學意義及應用價值：對超精密氣浮回轉基準中動靜壓之間的耦合規律進行建模。解析表述了動靜壓之間的壓力耦合、結構耦合以及壓力與結構之間的交叉耦合。該技術大幅度提高了氣浮回轉基準的剛度、承載能力和抗擾動能力，提高了氣浮回轉基準的綜合性能。實驗表明：與傳統氣浮回轉基準(STGB)相比，承載能力提高4倍以上，剛度提高6倍以上，流量略有增大，性能曲線對比見Fig.1-3。
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研究目的：研究一種多點并行曝光、且曝光面上各曝光點曝光可控及曝光強度宏微雙重可調的高分辨力的激光直接寫入新技術，以解決傳統激光直寫單點曝光制作效率低的問題，提高微陣列和微結構光學器件的制作效率。基本原理：多光斑可控并行激光直寫的基本思想是以微光學鏡陣列作為直寫物鏡，將寫入激光分別聚焦為多個高分辨力寫入光斑，以分散直寫任務;利用數字微鏡DMD控制各子光斑是否曝光，并采用聲光調制器進行宏微雙重調制寫入光強。