海口超精密氣浮轉臺公司
發布時間：2022-09-01 01:36:43
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省委常委、副省長郝會龍出席會議并匯報，會議由省委常委、統戰部長趙敏主持。萬鋼對黑龍江省省委、省政府為裝備制造業技術創新和結構調整給與的高度重視和有力支持，以及黑龍江省在裝備制造業發展中取得的成績給與充分肯定。他說，為推動經濟社會穩步發展，每年各民主黨派中央都要開展年度重點調研。今年，致公黨中央圍繞全面深化改革，將“創新驅動促進裝備制造業結構調整”作為年度重點調研課題，原因在于裝備制造業是實現經濟增長方式轉變和推進傳統產業改造升級的根本手段，也是科技成果轉化為生產力的橋梁和通道。
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在保證焦斑質量的同時，可獲得大的曝光區域;引入光強宏微雙重調制裝置，提高了曝光光強的調制分辨力，從而解決控制輪廓精度的問題;通過空間光調制器依據像素部對寫入激光分束，解決了多光路并行同步直寫光束的控制問題。該技術特別適用于微陣列和微結構光學器件制作，具有大范圍、高精度激光寫入的優點。研究目的：研究一種基于多個子孔徑干涉拼接的全域非球面超精密測量技術，解決干涉儀測量范圍受限和分辨率受限問題，實現局部變化較大的凸凹面深度非球面面型的高精度測量。
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科學意義及應用價值：建立起一種反映傾斜、位移、離焦和振動干擾等影響因素和作用規律的子孔徑干涉拼接測量模型，依據該測量模型，可建立起一種對上述影響因素有較強抑制能力的測量儀器，進而解決凸凹深度非球面測量問題。研究目的：研究一種超精密、超高速、大載荷、高剛度的氣浮回轉基準，解決傳統氣浮回轉基準承載能力小、剛度低、抗擾動能力差等問題，以期進一步提高氣浮回轉基準的回轉精度，提高抗擾動能力。
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圓柱度、直線度、垂直度、同軸度和同心度等幾何參量進行測量，并能進行相關分析。可廣泛用于航空航天、船舶、國防、汽車、軸承等各類精密裝備***造領域。基準型圓柱度測量儀可用于計量部門，開展圓柱度量值的傳遞與溯源工作儀器特色：超精密氣浮回轉基準主軸精度是圓柱度儀回轉基準的重要指標。經過優化設計的圓柱度儀的空氣靜壓軸系采用本所專利技術，經特殊加工工藝研制，因此保證了儀器主軸具有超精密級的軸向與徑向回轉精度(0.015~0.05μm)、角回轉精度(0.02~0.1″)和高承載與高剛度兼顧性能，保障了儀器具有高可靠性和長久的使用壽命。
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研究目的：研究一種多點并行曝光、且曝光面上各曝光點曝光可控及曝光強度宏微雙重可調的高分辨力的激光直接寫入新技術，以解決傳統激光直寫單點曝光制作效率低的問題，提高微陣列和微結構光學器件的制作效率。基本原理：多光斑可控并行激光直寫的基本思想是以微光學鏡陣列作為直寫物鏡，將寫入激光分別聚焦為多個高分辨力寫入光斑，以分散直寫任務;利用數字微鏡DMD控制各子光斑是否曝光，并采用聲光調制器進行宏微雙重調制寫入光強。