一．產(chǎn)品簡介

HUE-X931是哈爾濱工業(yè)大學(xué)、哈爾濱超精密裝備工程技術(shù)中心有限公司聯(lián)合開發(fā)的新一代高空間分辨率光學(xué)共焦顯微鏡。 產(chǎn)品系大型高端科學(xué)儀器，綜合了國內(nèi)外優(yōu)勢技術(shù)方案，技術(shù)密集度極高，能夠?qū)崿F(xiàn)對各類樣品表面微結(jié)構(gòu)的高分辨率三維測量。

二．使用環(huán)境

溫度要求:20℃±1℃

濕度要求:小于60%RH

隔振要求:儀器應(yīng)放在隔振基礎(chǔ)上，周圍無劇烈振動和沖擊

電磁場要求:使用現(xiàn)場周圍無強(qiáng)電磁干擾

三．HUE-X931特征與優(yōu)勢

非接觸式3D測量:采用532nm波長激光產(chǎn)生的虛擬探針進(jìn)行測量，不會劃傷樣品表面。

抗樣品反射率擾動:采用共焦傳感原理，對樣品表面測量點(diǎn)的反射率變化不敏感。高空間分辨力測量特性:橫向分辨力優(yōu)于傳統(tǒng)顯微成像，軸向分辨力達(dá)到納米級水平。

硬件模塊化設(shè)計(jì):可根據(jù)測量樣品的不同需求配置測量方案?？啥ㄖ频能浖δ苣K:開發(fā)工程師可根據(jù)用戶需求，設(shè)計(jì)提供相應(yīng)軟件模塊。

四．應(yīng)用領(lǐng)域
      輪廓測量 ： 高度測量 寬度測量 形狀角度測量
      3D測量 ：  體積測量 表面積測量
      粗糙度測量 ：線條粗糙度測量 表面粗糙度測量

五．典型應(yīng)用
     微光機(jī)電元件(MEMOS)結(jié)構(gòu)測量

乳膠懸浮物/聚合物亞表面成像分析

材料表面/斷口特性分析
       集成電路線寬測量

 封裝對準(zhǔn)

      六．技術(shù)規(guī)格