一．產品簡介

HUE-X931是哈爾濱工業(yè)大學、哈爾濱超精密裝備工程技術中心有限公司聯(lián)合開發(fā)的新一代高空間分辨率光學共焦顯微鏡。 產品系大型高端科學儀器，綜合了國內外優(yōu)勢技術方案，技術密集度極高，能夠實現(xiàn)對各類樣品表面微結構的高分辨率三維測量。

二．使用環(huán)境

溫度要求:20℃±1℃

濕度要求:小于60%RH

隔振要求:儀器應放在隔振基礎上，周圍無劇烈振動和沖擊

電磁場要求:使用現(xiàn)場周圍無強電磁干擾

三．HUE-X931特征與優(yōu)勢

非接觸式3D測量:采用532nm波長激光產生的虛擬探針進行測量，不會劃傷樣品表面。

抗樣品反射率擾動:采用共焦傳感原理，對樣品表面測量點的反射率變化不敏感。高空間分辨力測量特性:橫向分辨力優(yōu)于傳統(tǒng)顯微成像，軸向分辨力達到納米級水平。

硬件模塊化設計:可根據(jù)測量樣品的不同需求配置測量方案。可定制的軟件功能模塊:開發(fā)工程師可根據(jù)用戶需求，設計提供相應軟件模塊。

四．應用領域
      輪廓測量 ： 高度測量 寬度測量 形狀角度測量
      3D測量 ：  體積測量 表面積測量
      粗糙度測量 ：線條粗糙度測量 表面粗糙度測量

五．典型應用
     微光機電元件(MEMOS)結構測量

乳膠懸浮物/聚合物亞表面成像分析

材料表面/斷口特性分析
       集成電路線寬測量

 封裝對準

      六．技術規(guī)格