傳統的氣浮平臺多數采用旋轉電機與滾動絲杠相結合，將電機的旋轉運動經由絲杠轉變為與其相連的工作臺的直線運動。這種驅動方式的缺點很明顯，如系統傳動鏈較長、結構復雜、摩擦較大等。另外，其承載與導向元件一般采用滑動或滾動導軌，這兩類導軌在系統進行低速運動時會出現“爬行”現象，致使運動不穩定，影響系統精度。

超精密氣浮轉臺在精密與高精密測量與制造領域，如何解決上訴問題是提高工作臺性能的關鍵。直線電機驅動的精密運動工作臺應時而生，其消除了電動機到工作臺的傳動環節，實現了零傳動鏈的電機驅動方式。另外，根據部分輕載工作臺的應用要求，結合導軌的優劣性能，采用氣浮導軌與直線電機相結合的方式，使高速度、高加速度、高精度等技術指標的實現變得更加容易，成為了在精密運動工作臺發展中的又一-突破。但是，結合國內外發展現狀，我國的氣浮平臺技術遠遠落后于國外各工業大國，各種設備多靠進口，自主研發能力較弱，這種情況嚴重制約著我國的工業技術發展，所以，對直線伺服氣浮工作臺的研究意義深遠。

氣浮轉臺是利用軸承腔內空氣壓力導入，使轉軸懸浮于空氣中，并能平滑旋轉，使轉軸在空氣中懸浮，通過軸承腔引入空氣壓力，使導流間隙特別小，保證轉軸懸浮，從而獲得較高的軸向和徑向跳動誤差。高速、高精度、無摩擦、無磨損、不潤滑、速度穩定、無噪音。氣浮轉盤具有許多優點，越來越多地使用氣浮式軸承來代替傳統的機械軸承。

氣浮轉臺作為一種典型的超精密機械，從誕生起就受到了人們的廣泛關注，其中包括微光刻技術、數控加工、生命科技、納米面形測量，高精密機床研發等領域，是超精密定位、探測及精確移動載體平臺，為超精密加工工藝技術的研究開發拓展了一個領域，可以很好的解決高精度零件的加工、檢驗等問題。

對氣浮轉臺的高壓氣體的流動規律、壓力分布、轉臺精度分離方法等進行了充分掌握。制造出小孔節流型氣浮轉臺，其影響因素：高壓氣膜的壓力分布、氣源壓力、節流器直徑、節流器數量、均壓槽深度等，找到了優氣膜剛度時的參數區間，取得了關鍵技術突破，使用壽命10年以上，為高精度零件的加工與檢測、超精密加工工具的研制奠定了技術基礎。