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高精度空間分離激光干涉鏡組

最大光束直徑:9mm 

光纖接口 :LC 或 E2000 

輸出效率 :≥25% 

測量點公差:平均值±0.15mm,偏差值±1mm 

角度容差:±1mrad 

光束平行度:<50μrad (單軸測量光與參考光之間)

 解決方案

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  • 詳細信息
  • 產品概述

一.產品簡介

           XP01-P-B是由哈爾濱工業大學研制、哈爾濱超精密裝備工程技術中心有限公司開發的 高精度空間分離單軸激光干涉鏡組。XP01-P-B鏡組采用自主專利的空間分離光路結構,具 有超低周期非線性指標;采用光纖準直/耦合器件粘接工藝,保證了光束出色的平行度與穩 定度,適合要求苛刻的超精密測量需求與場合。

二.XP01-P-B型激光干涉鏡組技術規格




測量特性分辨力九/4 (光學四細分)
熱漂移系數W30 nm/K
非線性誤差優于±0.2nm 
光機特性最大光束直徑9mm
光纖接口LC 或 E2000
輸出效率225%
測量點公差平均值±0.15mm,偏差值±1mm
角度容差±1mrad
光束平行度V50Rrad   (單軸測量光與參考光之間) 
工作環境溫度范圍18℃-25℃ (推薦值 20±1℃, 30 min   內變化W±0.1℃)
相對濕度30% - 60% 
物理特性尺寸110mmx90mmx45mm   (包含殷鋼保護殼)
重量1.5 kg
共振頻率>1kHz




三.XP01-P-B型激光干涉鏡組出光位置


image.png


四.XP01-P-B型激光干涉鏡組安裝尺寸


image.png

(圖中尺寸只做位置說明,不用于生產加工)

 

可根據實際測量需求定制單/多軸空間分離激光干涉鏡組方案。


五.XP01-P-B型激光干涉鏡組部件清單


鏡組1套(含光纖準直器、耦合器共4個;膠接,出廠前裝調)




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