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產(chǎn)品中心

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山西高精度單軸激光干涉鏡組

非線性誤差 優(yōu)于±1nm

最大光束直徑:9mm 

輸出效率:≥5% 

測量點公差:平均值±0.15mm,偏差值±1mm 

角度容差:±1.5mrad 

光束平行度:<50μrad (單軸測量光與參考光之間)

 解決方案

 視頻展示

  • 詳細信息
  • 產(chǎn)品概述

一.產(chǎn)品簡介


       DP01-P 是由哈爾濱工業(yè)大學(xué)研制、哈爾濱超精密裝備工程技術(shù)中心有限公司開發(fā)的系 列高精度單軸激光干涉鏡組。DP01-P 鏡組采用平面鏡光學(xué)四細分結(jié)構(gòu),不同進光方案適合 不同用戶需求,適用于超精密線位移、角位移測量等各類工業(yè)應(yīng)用及科學(xué)研究場合。


二.DP01-P 型單軸激光干涉鏡組技術(shù)規(guī)格



測量特性分辨力刀4 (光學(xué)四細分)
熱漂移系數(shù)W40 nm/K
非線性誤差優(yōu)于±1nm 
光機特性最大光束直徑9mm
輸出效率25%
測量點公差平均值±0.15mm,偏差值±1mm
角度容差±1.5mrad
光束平行度V50Nrad   (單軸測量光與參考光之間) 
工作環(huán)境溫度可工作范圍18℃-25℃
推薦范圍20±1℃,   30 min內(nèi)變化W±0.1℃
相對濕度30% - 60% 
物理特性尺寸38.1mmX42.1mmX   58.1mm (包含殷鋼外殼)
重量0.5 kg
共振頻率 >1kHz


三.DP01-P型單軸激光干涉鏡組機械尺寸


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DP01-P單軸激光干涉鏡組機械尺寸

(圖中尺寸只做位置說明,不用于生產(chǎn)加工)


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配套激光耦合頭安裝架機械尺寸

 (圖中尺寸只做位置說明,不用于生產(chǎn)加工)


1.TBD系列單軸激光干涉鏡組兩具體型號機械尺寸相同。

2.入射光可由俯視圖中左側(cè)或右側(cè)通孔進入,另一孔輸出空間干涉光束,可安裝配套的干涉光束耦合器。

3.可根據(jù)實際測量需求定制干涉鏡組。


四.DP01-P型單軸激光干涉鏡組部件清單


鏡組1套(包含殷鋼保護殼);配套耦合頭安裝架(可選);配套耦合頭及尾纖(可選)




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