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山西高精度三軸激光干涉鏡組

非線性誤差 優(yōu)于±2nm

最大光束直徑:9mm 

輸出效率:≥5%(三軸總和)

測量點(diǎn)公差:平均值±0.15mm,偏差值±1mm 

角度容差:±1.5mrad 

光束平行度:<50μrad (單軸測量光與參考光之間)

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  • 詳細(xì)信息
  • 產(chǎn)品概述

一.產(chǎn)品簡介


      DP03-P是由哈爾濱工業(yè)大學(xué)研制、哈爾濱超精密裝備工程技術(shù)中心有限公司開發(fā)的高 精度三軸激光干涉鏡組。DP03-P鏡組具有三個測量軸,可對被測目標(biāo)進(jìn)行多自由度位移同 步測量,以進(jìn)一步解算其偏擺角度,適合超精密多自由度的測量應(yīng)用。


二.DP03-P 型三軸激光干涉鏡組技術(shù)規(guī)格


測量特性分辨力λ/4(光學(xué)四細(xì)分)
熱漂移系數(shù)≤40 nm/K
非線性誤差優(yōu)于±2nm
光機(jī)特性最大光束直徑9mm
輸出效率≥5%(三軸總和)
測量點(diǎn)公差平均值±0.15mm,偏差值±1mm
角度容差±1.5mrad
光束平行度<50μrad (單軸測量光與參考光之間) 
工作環(huán)境溫度范圍18℃-25℃ (推薦值 20±1℃,30 min 內(nèi)變化≤±0.1℃)
相對濕度30% - 60% 
物理特性尺寸134mmX91mmX73mm   (包含殷鋼保護(hù)殼)
重量3 kg
共振頻率>1kHz



三.DP03-P型三軸激光干涉鏡組機(jī)械尺寸


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DP03-P-L1型三軸激光干涉鏡組典型尺寸




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DP03-P-L2型三軸激光干涉鏡組典型尺寸

(圖中尺寸只做位置說明,不用于生產(chǎn)加工)


可根據(jù)實(shí)際測量需求定制干涉鏡組。


規(guī)格價格如有變更,恕不另行通知。版權(quán)所有,包括以上任何形式復(fù)制整個或部分文件的權(quán)利。



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