當前標簽：超精密激光干涉測量系統(tǒng)
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一.產(chǎn)品簡介HUE系列激光干涉儀由哈爾濱工業(yè)大學研制、哈爾濱超精密裝備工程技術(shù)中心有限公司開發(fā)，集激光器、干涉鏡組、信號處理卡、環(huán)境參數(shù)傳感器優(yōu)勢于一體，實現(xiàn)單軸/多軸
超精密激光干
