當前標簽：高速可動刀口系統(tǒng)定制
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一.產(chǎn)品簡介VS部件實現(xiàn)調(diào)整光刻機光學系統(tǒng)中的光源現(xiàn)場尺寸以及視場內(nèi)光強的均勻性，要求刀片掃描運動與掩膜臺掃描運動同步。二.設(shè)計原則模塊化設(shè)計原則：根據(jù)功能分解，確定模塊結(jié)構(gòu)，集成化設(shè)計
